| 기술분야 |
- 나노미터 정밀도 스테이지 개발; 반도체 제조장비 및 생화학 연구장비용 극 초정밀 스테이지 설계 및 제작 - 마이크로 프로세서를 이용한 메카트로닉스 장치 제어기 개발 |
| 산업협력분야 |
- 초정밀 스테이지 설계기술 반도체 및 LED 제조장비에 소요되는 초정밀 스테이지의 공동 개발, 기술이전 - 각종 메카트로닉스 장치의 인텔리전트 제어기 공동개발, 기술이전 |
| 연구실적 |
PZT 구동 나노미터 정밀도 스테이지 개발 다채널 가스 누설 경보기 개발 전열교환기용 자동 필터 교체기 제어기 개발 흄후드 면풍속 자동 조절 제어기 개발 |
| 논문 |
- 박종성, 정규원, “초정밀 스테이지의 강인 제어”, 대한기계학회논문집 A권, Vol.30, No.9, pp.1094-1101, 2006, 9. -하호진, 정규원, “PZT 구동 나노 정밀도 스테이지를 위한 퍼지 제어기 개발”, 한국공작기계학회논문집, Vol.18, No.2, pp.228-233, 2009, 4. -정규원, “대규모 시설을 위한 다채널 가스 누설 경보기 개발”, 한국안전학회지, Vol.23, No.3, pp.1~7, 2008.6.30 |
| 특허 |
2건 특허출원 - 입광 유도홈이 형성된 도광판을 가지는 고휘도 백라이트 유닛 - 부구를 이용한 풍속센서가 구비된 공조장치용 자동필터 교환장치 |
